Ống lót dẫn hướng hình chữ nhật bo tròn bằng gốm silicon nitride cho cơ chế chuyển wafer trong sản xuất chất bán dẫn

Ống lót dẫn hướng hình chữ nhật bo tròn bằng gốm silicon nitride cho cơ chế chuyển wafer trong sản xuất chất bán dẫn

Tổng quan sản phẩm

Sản phẩm này là khối hình chữ nhật bo tròn bằng gốm silicon nitride được sản xuất bằng công nghệ thiêu kết áp suất khí. Nó có vẻ ngoài màu xám đậm đồng nhất với bề mặt hoàn thiện như gương đạt được thông qua đánh bóng chính xác. Sản phẩm áp dụng thiết kế hình chữ nhật bo tròn công thái học với một lỗ xuyên tâm hình tròn có độ chính xác cao chạy xuyên tâm, và tất cả các cạnh đều có các chuyển tiếp bán kính trơn tru. Thiết kế này giúp tránh tập trung ứng suất một cách hiệu quả đồng thời đảm bảo an toàn và độ tin cậy trong quá trình sử dụng, duy trì tính thẩm mỹ hình học thanh lịch.

Ứng dụng chính

• Máy móc chính xác: Ống lót chống mài mòn cho hướng dẫn tuyến tính của thiết bị tự động, khối kết nối xoay cho cánh tay robot
• Hệ thống kiểm soát chất lỏng: Đầu nối chống ăn mòn cho bơm và van hóa chất, kết nối đường ống có độ tinh khiết cao
• Sản xuất chất bán dẫn: Ống lót dẫn hướng cho cơ chế chuyển wafer, trụ kết nối cách điện cho thiết bị chân không
• Điện năng: Các bộ phận hỗ trợ cách điện cho công tắc cao áp, khối cố định tản nhiệt cho thiết bị điện
• Dụng cụ đo lường: Khối định vị cho nền tảng đo lường chính xác, miếng đệm điều chỉnh cho dụng cụ quang học

Ưu điểm sản phẩm

→ Khả năng chống mài mòn vượt trội: Hệ số mài mòn <5×10⁻⁸ mm³/N·m, tuổi thọ vượt quá vật liệu kim loại 10 lần
→ Độ bền cơ học tuyệt vời: Cường độ nén ≥2200 MPa, cường độ uốn ≥650 MPa
→ Khả năng chống ăn mòn vượt trội: Chống lại axit mạnh, kiềm và dung môi hữu cơ
→ Tính chất cách điện vượt trội: Điện trở suất thể tích >10⁵ Ω·cm, độ bền điện môi ≥20 kV/mm
→ Hệ số giãn nở nhiệt thấp: 3.2×10⁻⁶/°C, đảm bảo ổn định kích thước trong môi trường nhiệt độ cao

Thông số kỹ thuật

Quy trình sản xuất

Công thức bột có độ tinh khiết cao → Trộn chất kết dính đồng nhất → Ép khuôn hai chiều → Tăng cường ép đẳng tĩnh lạnh → Thiêu kết áp suất khí → Mài thô → Mài góc chính xác → Mài lỗ xuyên tâm → Đánh bóng gương → Kiểm tra bằng laser

Hướng dẫn sử dụng

1. Sử dụng các công cụ lắp đặt chuyên dụng trong quá trình lắp ráp, tránh đóng trực tiếp bằng búa

2. Khuyến nghị khe hở lắp: 0.02-0.05 mm

3. Làm sạch và lau khô ngay sau khi sử dụng trong môi trường ăn mòn

4. Kiểm tra thường xuyên độ mòn của thành trong lỗ xuyên tâm, khuyến nghị sau mỗi 2000 giờ hoạt động

5. Tránh tiếp xúc với các hóa chất cụ thể như axit flohydric và axit photphoric nóng

Cam kết dịch vụ

• Bảo hành chất lượng sản phẩm 24 tháng
• Hướng dẫn lựa chọn và lắp đặt kỹ thuật miễn phí
• Hỗ trợ các đơn đặt hàng thử nghiệm số lượng nhỏ (Số lượng đặt hàng tối thiểu: 20 chiếc)
• Cung cấp báo cáo thử nghiệm vật liệu và giấy chứng nhận sử dụng
• Thiết lập hồ sơ khách hàng chuyên dụng với tư vấn kỹ thuật trọn đời

Câu hỏi thường gặp

Q: Ưu điểm đặc biệt của thiết kế góc bo tròn là gì?
A: Thiết kế góc bo tròn phân phối ứng suất hiệu quả, tránh tập trung ở các cạnh sắc và tăng cường khả năng chống va đập

Q: Độ chính xác kích thước được đảm bảo như thế nào?
A: Sử dụng gia công chính xác CNC, dung sai kích thước đạt ±0.008 mm, độ chính xác bán kính góc ±0.05 mm

Q: Nó có phù hợp với môi trường nhiệt độ cao và áp suất cao không?
A: Đặc biệt thích hợp cho điều kiện nhiệt độ cao và áp suất cao, duy trì hiệu suất ổn định ở 800°C và 10 MPa

Q: Có hỗ trợ tùy chỉnh kích thước đặc biệt không?
A: Hỗ trợ tùy chỉnh kích thước phi tiêu chuẩn, kích thước có thể xử lý tối đa 150×100×50 mm, đường kính lỗ xuyên tâm 3-40 mm

Tính năng sản phẩm:
Sản phẩm này sử dụng thiết kế gia cố góc bo tròn độc đáo, được tối ưu hóa thông qua phân tích phần tử hữu hạn để cải thiện khả năng chống va đập lên 40%. Lỗ xuyên tâm trung tâm sử dụng công nghệ mài đặc biệt để đảm bảo độ nhẵn thành trong ở mức gương, giảm hiệu quả lực cản dòng chảy chất lỏng. Vật liệu trải qua các quy trình xử lý nhiệt đặc biệt với kích thước hạt được kiểm soát trong phạm vi 0.5-1.0 μm, kết hợp độ cứng cao với độ dẻo dai tốt, đạt được tuổi thọ dài hơn 5 lần so với vật liệu truyền thống trong điều kiện làm việc khắc nghiệt.