Chi tiết sản phẩm
Place of Origin: Made In China
Hàng hiệu: Dayoo
Điều khoản thanh toán và vận chuyển
Functionality: |
Multi-purpose |
Operating System: |
Compatible with various systems |
Flexibility: |
High |
Printing Technology: |
3D Printing |
Durability: |
High |
Power Source: |
Electricity |
Precision: |
High |
Arm Length: |
Adjustable |
Speed: |
Fast |
Weight: |
Lightweight |
Control Method: |
Robotic |
Material: |
Ceramic |
Color: |
White |
Design: |
Sleek and modern |
Functionality: |
Multi-purpose |
Operating System: |
Compatible with various systems |
Flexibility: |
High |
Printing Technology: |
3D Printing |
Durability: |
High |
Power Source: |
Electricity |
Precision: |
High |
Arm Length: |
Adjustable |
Speed: |
Fast |
Weight: |
Lightweight |
Control Method: |
Robotic |
Material: |
Ceramic |
Color: |
White |
Design: |
Sleek and modern |
Cánh tay robot gốm alumina in 3D là một giải pháp tự động hóa hiệu suất cao được thiết kế dành riêng choSản xuất chất bán dẫn, xử lý wafer và sản xuất tự động. Sử dụngCông nghệ in 3D DLP/SLA, nó được sản xuất như một thành phần tích hợp duy nhất từ99,9% gốm alumina độ tinh khiết cao (Al₂o₃). Với các thuộc tính đặc biệt bao gồmĐộ cứng cực cao, điện trở nhiệt, khả năng chống ăn mòn và hệ số giãn nở nhiệt thấp, nó là lý tưởng chomôi trường chân không, điều kiện hóa học khắc nghiệt và các quy trình nhiệt độ cao, đảm bảoĐộ sạch và ổn định caoTrong các ứng dụng xử lý wafer.
Các ứng dụng chính
✅Xử lý wafer bán dẫn: Nút hút bụi, định vị và chuyển giaoWafer 12 inch
✅Thiết bị khắc và lắng đọng: Chống huyết tương cho các quy trình PVD/CVD
✅Hoạt động nhiệt độ cao: Hoạt động liên tục tại300 ° C+
✅Dây chuyền sản xuất tự động: Tương thích với dụng cụ cuối cùng (EOAT) để nâng cao năng suất
| Tính năng | Cánh tay kim loại truyền thống | Cánh tay gốm in 3D |
|---|---|---|
| Kháng ăn mòn | Dễ bị axit/kiềm | Chống lại môi trường pH 1-14 |
| Ổn định nhiệt | Biến dạng trên 200 ° C. | Ổn định ở 300 ° C+ |
| Cân nặng | Nặng (xây dựng thép) | Nhẹ (mật độ 3,9g/cm³) |
| Sạch sẽ | Ô nhiễm hạt kim loại | Phát xạ hạt không, tuân thủ bán |
Độ tinh khiết vật chất: ≥99,9% al₂o₃
Công nghệ in: Photopolyme hóa DLP (độ chính xác ± 20μm)
Năng lực tải trọng: 5kg (tiêu chuẩn)/10kg (nhiệm vụ nặng)
Độ lặp lại:Độ chính xác định vị ± 0,01mm
Phạm vi nhiệt độ: -50 ° C đến 300 ° C
Độ nhám bề mặt: RA≤0,1μm (đánh bóng đến 0,05μm)
Khả năng tương thích chân không: Các kênh không khí tích hợp (lọc 0,5μm)
Mô hình 3D: Thiết kế CAD + mô phỏng đường dẫn xử lý wafer
Chuẩn bị bùn: Nano-alumina + Photopolyme nhựa hỗn hợp (hàm lượng rắn 55-58%)
In DLP: Chữa chữa bệnh từng lớp (độ dày 20μm)
Thiêu kết-temp cao: Mật độ 1650 ° C (bồi thường co rút 117-122%)
Gia công chính xác: Cắt cắt laser + mài CNC (độ phẳng ± 0,02mm)
Kiểm soát chất lượng: Kiểm tra tia X + Kiểm tra rò rỉ
⚠Ghi chú quan trọng:
Vô số khí tự khí (121 ° C) trước khi sử dụng lần đầu tiên
Tránh phơi nhiễm axit hydrofluoric (HF)
Kiểm tra chung hàng thángĐối với tính toàn vẹn của hao mòn và chân không
Sử dụng hiệu ứng cuối gốmĐể ngăn ngừa thiệt hại wafer
